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SSG 系列

雙腔立式晶圓甩干機 SRD

DSG系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機是高潔凈度沖洗甩干設(shè)備

可適用于標準尺寸晶圓、非標準規(guī)格圓片及方片、硅晶片、氮化鉀、砷化鎵、藍寶石、掩模版等各種半導(dǎo)體應(yīng)用材料濕法工藝甩干

專利產(chǎn)品

產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 無刷伺服電機驅(qū)動,保證設(shè)備穩(wěn)定可靠及潔凈度要求。

2. 迷宮式氮氣密封,腔內(nèi)與腔外隔離,無接觸式密封效果,確保工藝環(huán)境要求。

3. 采用PTFE 氣控閥組件,PVDF 管路及接頭。

4. 采用316L 不銹鋼材質(zhì),表面電解拋光處理。

功能特點

  • 沖洗,吹凈,吹干,烘干功能,利用高速旋轉(zhuǎn)離心力,把殘留附著化學(xué)試劑及顆粒塵埃甩除,同時潔凈氮氣把殘留顆粒塵埃帶走,使產(chǎn)品表面潔凈干燥潔凈。
  • 靜電消除功能,產(chǎn)品高速運動時會產(chǎn)生靜電,利用高壓除靜電裝置使產(chǎn)品表面達到中和狀態(tài)。
  • 電導(dǎo)率監(jiān)控,監(jiān)控清洗水質(zhì)及產(chǎn)品表面殘留附著化學(xué)試劑及顆粒塵埃過多,不符合甩干前要求,提示并發(fā)出警示,避免不良品進入下道工藝。
  • 不銹鋼加熱器氮氣加熱,加熱膜腔體加熱,PID 溫度精度控制,可選擇提前預(yù)熱。自動清洗功通能選擇,可設(shè)定間隔時間,確保設(shè)備始終保持潔凈狀態(tài)。
  • 氮氣0.003UM 過濾,確保工藝氣體潔凈度。
  • 機械自復(fù)位功能,停機待機片盒朝上。
  • 氮氣壓力,門密封狀態(tài),片盒朝上等條件保護。
  • 控制單元單獨控制,單獨運行,操作簡單,維修方便。

產(chǎn)品細節(jié)

細節(jié)決定成敗

不銹鋼內(nèi)筒

內(nèi)筒采用4.0mm304不銹鋼制作,具有定時操作功能

嚴謹選材

嚴選電機,運轉(zhuǎn)速度快,脫水率高

按鈕開關(guān)

按鈕開關(guān),一按即可運行,操作簡單

技術(shù)參數(shù)

您可以選擇多種型號

  • 型號
  • 工作腔數(shù)量
  • 硅片規(guī)格 mm
  • 旋轉(zhuǎn)速度 r/min
  • 氮氣壓力 Mpa
  • 去離子水壓力 Mpa
  • 外型尺寸(長x寬x高)mm
  • 電源功率 kw
  • 電壓 / 頻率
  • DSG04
  • 2
  • 12”
  • 300-1200
  • 0.3
  • 0.3
  • 963x850x2300
  • 8
  • AC380V 50HZ

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體行業(yè)
  • 汽車鑄件
  • 電鍍緊固件行業(yè)
  • 醫(yī)療行業(yè)
  • 晶圓硅片

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